濕度傳感器廣泛應用于物聯(lián)網（IoT）。根據醫(yī)療呼吸監(jiān)測、非接觸傳感和人機界面的要求，快速響應和高重復性對于高效、精確地采集信號非常重要。以往的研究工作主要集中在靈敏度的提高上，對響應時間、穩(wěn)定性和可重復性進行了削弱。本文，北京理工大學王曉毅、浙江大學高峰等研究人員在《ACS Sens》期刊發(fā)表名為“A High-Performance Surface Acoustic Wave Humidity Sensor with Uniform Multiwrinkled Graphene Oxide Film"的論文，研究利用真空過濾和液相轉移法獲得的均勻多皺氧化石墨烯（GO）薄膜作為傳感材料，提出了具有綜合性能的表面聲波（SAW）濕度傳感器。多皺褶氧化石墨烯薄膜具有厚度可控（薄至 29 nm）、晶圓制造均勻（2 英寸）、皺紋豐富等特點，因其具有大量的水分子吸附位點和傳遞通道而成為聲表面波濕度傳感器的有效敏感薄膜。實驗結果表明，該傳感器可獲得高靈敏度（10.5 kHz/RH%@60 nm 厚膜）、超快響應（約45 ms）、良好的穩(wěn)定性（變化幅度約0.1%）、可重復性（變化幅度約1%）以及晶圓級制造能力，這表明其在醫(yī)療呼吸監(jiān)測、非接觸傳感和人機界面方面具有實際應用價值。

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